Созданы датчики повышенной точности

Созданы датчики повышенной точности

16.04.2019
Zalbig1.jpg

Сотрудники НИИФИ разработали ряд инновационных приборов и технологий, в их числе – сигнализатор давления мембранный СДР-1, интегральный преобразователь давления ПДТ, датчик давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой (НиМЭМС) и технология защиты углов кремниевых микромеханических структур при анизотропном травлении, применяемая при изготовлении акселерометров навигационного класса. Эти разработки были представлены в рамках экспозиции холдинга РКС на международном салоне «Архимед-2019».

Мембранный сигнализатор давления СДР-1 предназначен для выдачи электрического сигнала на замыкание или размыкание цепи при достижении заданной величины избыточного давления жидкости или газа в различных системах. В его создании принимали участие Ирина Бакатова, Инна Тяпкина, Сергей Минеев и Сергей Козин. За счет применения в сигнализаторе инновационных решений авторскому коллективу удалось существенно повысить точность срабатывания прибора, что является одной из главных характеристик для подобного рода устройств.

СДР-1 может применяться в ракетно-космической технике и в других отраслях промышленности, где предъявляются повышенные требования к точности измерений. Данная разработка отмечена бронзовой медалью салона «Архимед-2019».

Высокой точностью отличается и созданный авторским коллективом в составе Ивана Ползунова, Александра Родионова и Вадима Шокорова интегральный преобразователь давления ПДТ, который может быть использован в различных системах контроля и измерения давления жидкостей и газов, в том числе при диагностике авиационной и ракетно-космической техники. Преобразователь превосходит зарубежные аналоги по надежности и стабильности метрологических характеристик. За его разработку авторский коллектив награжден золотой медалью салона.

Серебряной медали удостоены разработчики датчика давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой (НиМЭМС). Созданный Евгением Белозубовым, Натальей Козловой, Валентиной Вологиной и Юлией Козловой датчик позволяет использовать его в различных отраслях промышленности для измерения давления в условиях воздействия нестационарных температур и повышенных виброускорений. За счет совмещенного применения нано- и МЭМС-технологий разработчикам удалось существенно уменьшить погрешности измерений прибора.

Технология защиты углов кремниевых микромеханических структур при анизотропном травлении, в разработке которой принимали участие Валерий Пауткин, Александр Мишанин, Антонина Папко и Вера Алексеева, позволяет создавать кремниевые микромеханические чувствительные элементы датчиков, которые являются основными элементами бесплатформенных инерциальных навигационных систем, – например акселерометров и датчиков угловой скорости. Эта технология, отмеченная еще одной серебряной медалью салона «Архимед», позволяет значительно улучшить дрейфовые характеристики приборов.


Возврат к списку

Научная деятельность